羅茨真空泵是一種旋轉變容真空泵。它是由羅茨鼓風(fēng)機演變而來(lái)的。根據羅茨泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵;中真空羅茨泵(又稱(chēng)機械增壓泵)和高真空多級羅茨泵。
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蒸汽噴射泵、濕式泵、干式泵是常用的真空泵類(lèi)型。這些年,由于對節能減排和環(huán)境保護日漸重視起來(lái),干式泵被更多業(yè)內人士關(guān)注并選擇。